Characterization of MIM Capacitors for the Investigation of RF MEMS Switch Charging Effects
Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
2010
Abstract:
MIM capacitors used for actuating RF MEMS have been studied for investigating charging effects.
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Keywords:
RF MEMS; MIM; Charging
Elenco autori:
DE ANGELIS, Giorgio; Bartolucci, Giancarlo; Lucibello, Andrea; Marcelli, Romolo
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Titolo del libro:
Microwave and Millimeter Wave MEMS