INFLUENCE OF SUBSTRATE AND PROCESS PARAMETERS ON THE PROPERTIES OF CVD-SIC

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

1990

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Cappelli, Emilia

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/256029

Titolo del libro:

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF REFRACTORY METALS AND CERAMICS

Pubblicato in:

MRS PROCEEDINGS

Series