On the production of semi-insulating buried layers in epitaxially grown InP by Fe ion implantation

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1993
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
InP; Fe; implantation; Semi-insulating layer
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/138130
Titolo del libro:
Proceedings of the 5th Conf. on Indium Phosphide and Related Materials