Method for suppressing transient enhanced diffusion of dopants in silicon

Brevetto

Data di Pubblicazione:

2001

Tipologia CRIS:

06.01 Brevetto di invenzione industriale

Elenco autori:

Scalese, Silvia; Napolitani, Enrico; Mirabella, Salvatore

Autori di Ateneo:

SCALESE SILVIA

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/232836

Dati Generali

URL

https://www.google.com/patents/WO2003049163A1?cl=en&dq=method+for+suppressing+transient+enhanced+diffusion+of+dopants+in+silicon&hl=it&sa=X&ei=s9HTUfedFMPGPerCgYgI&ved=0CDUQ6AEwAA#classifications