RAPID THERMAL ANNEALING OF HOT IMPLANTS IN SILICON

Articolo
Data di Pubblicazione:
1989
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/19337
Pubblicato in:
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Journal