Procedimento per la realizzazione di elettrodi di contatto per dispositivi elettronici, in particolare per la realizzazione di elettrodi di gate per transistor ad effetto di campo

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
Processi litografici; disposit.a can.corto; disp. per microonde; NULL; NULL
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/131254