X-ray and HRXRD measurements and TEM observations of the lattice damage in 0.70 and 0.74 MeV Si implanted GaAs crystal
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1995
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
GaAs; implantation; X.ray; TEM
Elenco autori:
Bocchi, Claudio; Frigeri, Cesare; Nipoti, Roberta
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Titolo del libro:
Ion Implantation Technology-94