Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique

Abstract
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/182302
Titolo del libro:
Book of Abstract of 30th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE 2004)