Structure and growth mechanism of ultra-thin and thin SiO2 films deposited by RF Magnetron Sputtering

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/57391