Microscopio olografico a ricostruzione numerica per la diagnostica di strutture MEMS/MOEMS
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
microscopia; inteferometria; olografia; mems
Elenco autori:
DE NICOLA, Sergio; Finizio, Andrea; Pierattini, Giovanni
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