2-DIMENSIONAL PROFILING OF DOPED LAYERS BY SPREADING RESISTANCE MEASUREMENTS AND ATOMIC-FORCE MICROSCOPY ON CHEMICAL ETCHED SURFACES

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1993
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/126399
Titolo del libro:
ESSDERC '93 - PROCEEDINGS OF THE 23RD EUROPEAN SOLID-STATE DEVICE RESEARCH CONFERENCE