Integrated circuits with backside metalization and production method thereof

Brevetto
Data di Pubblicazione:
2020
Tipologia CRIS:
06.01 Brevetto di invenzione industriale
Keywords:
Nickel silicide; sputtering; MOS
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/422699