Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI
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Data di Pubblicazione:
2006
Abstract:
È stato realizzato un prototipo di sensore fotoacustico per CO2 basato sull'utilizzo di celle microlavorate in pyrex/silicio (ottenute con bonding anodico) ed emettitori MEMS in tecnologia SOI. Il sistema permette il sensing selettivo di CO2 ed è adatto al monitoraggio della qualità dell'aria in interni.
Tipologia CRIS:
05.08 Prototipo d'arte e relativi progetti
Keywords:
celle fotoacustiche; CO2; indoor; MEMS
Elenco autori:
Mancarella, Fulvio; Roncaglia, Alberto; Cardinali, GIAN CARLO
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