Micro Interferometro MOEMS Integrato di tipo Mach-Zehnder realizzato in Niobato di Litio

E' stato realizzato un prototipo di Microinterferometro a scansione integrato su substrato di Litio Niobato (LN) senza parti in movimento. Due circuiti integrati di guide d'onda a canale con giunzione ad Y sono collegati da due canali paralleli che costituiscono i rami dell'interferometro secondo la geometria di Mach-Zehnder. Gli interferogrammi vengono generati sfruttando le proprietà elettro-ottiche del LN: l'applicazione di una rampa in tensione ad uno dei due rami o ad entrambi, produce una variazione linearmente proporzionale di indice di rifrazione e quindi una variazione lineare di cammino ottico, con formazione di massimi e minimi di interferenza in uscita. Applicando tecniche di Spettrometria di Fourier all'interferogramma campionato in funzione del potenziale applicato, si ottiene la distribuzione spettrale della radiazione incidente. Si sono pertanto messe a punto tecniche di realizzazione di guide d'onda integrate su substrati di LN, mediante impiantazione ionica ad alta energia, scambio ionico ed irraggiamento UV e metodi per la loro caratterizzazione. Si è sviluppata la tecnica per l'inserzione delle fibre ottiche di iniezione/prelievo dei segnali di ingresso/uscita e l'elettronica di pilotaggio e prelievo dei dati. I primi prototipi sono stati testati nell'analisi di luce solare, luce bianca prodotta da lampade ad arco e luce laser, dimostrando risoluzioni spettrali inferiori al nanometro.