Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi

Con l'obiettivo di ottenere strutture organizzate di nanotubi di carbonio , con proprietà , posizione e orientazione definite , si sono sviluppate tecnologie di preparazione dei substrati, deposizione del catalizzatore metallico e crescita mediante CVD dei nanotubi di carbonio. In particolare è stato messo a punto un metodo di preparazione di nanostampi di allumina porosa mediante ossidazione anodica di alluminio. All'interno dei pori di allumina , paralleli fra loro e perpendicolari alla superficie con dimensioni e distanze controllate, sono stati deposti per elettrodeposizione cobalto o nickel con la funzione di catalizzatori della successiva crescita dei nanotubi. Sono stati inoltre studiati altri tipi di substrati opportunamente patternati con il catalizzatore deposto per evaporazione (ferro e nickel). Sono stati messi a punto il trattamento termico del catalizzatore e i principali parametri del processo di deposizione, quali temperatura, concentrazione delle specie gassose contenenti carbonio, tempi e flussi. I processi di deposizione dei nanotubi di carbonio sono stati eseguiti in un reattore opportunamente progettato e realizzato.