A thermally insulated micromachined thermopile obtained from a commercial CMOS process

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2000
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/173385
Titolo del libro:
Sensors and Microsystems, Proceedings of the 5th Italian Conference on Sensors and Microsystems