An integrated circuit compatible compact package for thermal gas flowmeters
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2007
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Piotto, Massimo
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Titolo del libro:
DTIP of MEMS and MOEMS - Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS