Caratterizzazione e fabbricazione con tecnica RF-sputtering di strutture confinate dielettriche
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2011
Abstract:
This Paper is an overview of recent advances in photonics structures obtained in erbium-activated glasses fabricated by rf-sputtering technique. The fabrication protocols as well as the spectroscopic assessment of SiO2-HfO2 active waveguides and 1-D microcavity will be presented.
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
RF sputtering; planar waveguides; SiO2-HfO2; 1D microcavity; photoluminescence
Elenco autori:
Mazzola, Maurizio; Varas, Stefano; Righini, Giancarlo; Foglietti, Vittorio; Ferrari, Maurizio; Pelli, Stefano; NUNZI CONTI, Gualtiero; Chiasera, Alessandro
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Titolo del libro:
Atti FOTONICA 2011, 13° Convegno Nazionale delle Tecnologie Fotoniche Genova, Palazzo Ducale, 9-11 maggio 2011.