IN-SITU MASS-SPECTROMETRIC DIAGNOSTICS DURING INP DEPOSITION IN A REMOTE PLASMA-ENHANCED MOCVD SYSTEM

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1994
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/7631
Titolo del libro:
SIXTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON INDIUM PHOSPHIDE AND RELATED MATERIALS: CONFERENCE PROCEEDINGS