Stress evaluation on hetero-epitaxial 3C-SiC film on (100) Si substrates

Articolo
Data di Pubblicazione:
2012
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/172298
Pubblicato in:
MATERIALS SCIENCE FORUM
Series