Data di Pubblicazione:
1997
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Keywords:
RBS-CHANNELING SPECTRA; MEV PROTONS; SILICON; SI; DAMAGE; AMORPHIZATION; LAYERS; DISLOCATIONS; SIMULATION; PROFILES
Elenco autori:
Nipoti, Roberta; Servidori, Marco
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Titolo del libro:
EFFECT OF DISORDER AND DEFECTS IN ION-IMPLANTED SEMICONDUCTORS : ELECTRICAL AND PHYSICOCHEMICAL CHARACTERIZATION
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