Offset compensation of integrated thermal flow sensors by means of split heater microstructures

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2009
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/67746
Titolo del libro:
DTIP of MEMS and MOEMS - Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS