Progress report on a 14.4-nm micro-exposure tool based on a laser-produced-plasma: debris mitigation system results and other issues
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2007
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Nicolosi, Piergiorgio; Gerardino, Annamaria; Pelizzo, MARIA GUGLIELMINA
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Titolo del libro:
Proc. SPIE, Ultrafast X-Ray Sources and Detectors
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