Sensori di gas a film sottile su substrati di Si microlavorato

Academic Article
Publication Date:
2000
Iris type:
01.01 Articolo in rivista
List of contributors:
Authors of the University:
Handle:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/240106
Published in:
ALTA FREQUENZA - RIVISTA DI ELETTRONICA
Journal