Synthesis and characterization of novel diaminodimethylsilane derivatives as potential CVD precursors for zirconium or zirconium/silicon nitrides

Contributo in Atti di convegno

Data di Pubblicazione:

2003

Tipologia CRIS:

04.01 Contributo in Atti di convegno

Elenco autori:

Carta, Giovanni; Benetollo, Franco; Rossetto, GILBERTO LUCIO; Zanella, Pierino

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/431230