CARATTERIZZAZIONE DIELETTRICA DI FILM CERAMICI SOTTILI AD ALTA FREQUENZA CON CONDENSATORI INTERDIGITATI

Il lavoro qui presentato è rivolto alla determinazione della costante dielettrica e delle perdite di film sottili di titanato di zirconio (ZT) e piombo-zirconio titanato (PZT) nel campo delle microonde attraverso l'impiego di condensatori interdigitati (IDC). Per verificare la bontà della tecnica impiegata sono stati confrontati i risultati ottenuti con quelli provenienti da misure su condensatori a facce piane parallele (MIM).