Structural and morphological evolution of aluminum nitride thin films: influence of additional energy to the sputtering process
Articolo
Data di Pubblicazione:
2013
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Quaranta, Fabio; Catalano, Massimo; Creti', Pasquale; Martucci, MARIA CONCETTA; Taurino, Antonietta; Signore, MARIA ASSUNTA; Siciliano, PIETRO ALEARDO
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