realizzazione di multilaminati di AlN

Multistrato costituito da più strati di AlN ottenuti mediante colaggio su nastro di sospensioni ottimizzate in fase organica; la sovrapposizione degli strati, su cui sono state serigrafate piste elettroconduttive a base di Mo, avviene mediante termo-compressione a valori definiti di temperatura e pressione. I successivi stadi di debonding e sinterizzazione in atmosfera inerte hanno consentito di ottenere multistrati senza evidenza di fenomeni di delaminazione