Ni-silicide Contacts to 6H-SiC: Contact Resistivity and Barrier Height on Ion Implanted n-type and Barrier Height on p-type Epilayer

Poster
Data di Pubblicazione:
2004
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Keywords:
SiC; barrier hight; Ni contacts; contact resistivity
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/86702