Analysis of the Electrical Activation of P+ Implanted Layers as a Function of the Heating Rate of the Annealing Process
Poster
Data di Pubblicazione:
2006
Tipologia CRIS:
04.03 Poster in Atti di convegno
Keywords:
SiC; P implantation; heating rate; activation; surface roughness
Elenco autori:
Canino, MARIA CONCETTA; Poggi, Antonella; Raineri, Vito; Roccaforte, Fabrizio; Giannazzo, Filippo; Nipoti, Roberta; Solmi, Sandro
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