Study of Morphology, Electrical Activation and Contact formation of Ion Implanted 4H-SiC

Articolo
Data di Pubblicazione:
2010
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/53675
Pubblicato in:
DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID STATE DATA. PART B, SOLID STATE PHENOMENA
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