Diffusion, clustering and trapping of point defects in ion implanted silicon: atomistic simulations and experiments

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1997
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/122699
Titolo del libro:
Actas de la 1ยช Conferencia de Dispositivos Electronicos