Calibration of FIB parameters for the processing of semiconducting devices
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2005
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Catalano, Massimo; Lomascolo, Mauro; Taurino, Antonietta
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Titolo del libro:
Proceedings 7th Multinational Congress on Microscopy