Impact of the purity of silicon on the evolution of ion beam generated defects: From research to technology

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2000
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/178040
Pubblicato in:
PROCEEDINGS OF SPIE, THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
Series