Strain analysis in submicron electron devices by convergent beam electron diffraction
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2002
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Armigliato, Aldo; Balboni, Roberto
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Titolo del libro:
NANOSCALE SPECTROSCOPY AND ITS APPLICATIONS TO SEMICONDUCTOR RESEARCH
Pubblicato in: