Deposition of Photoluminescent Nanocrystalline Silicon Films by SiF4-SiH4-H2 Plasmas

Abstract
Data di Pubblicazione:
1996
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/122221
Titolo del libro:
Abstracts Fall Meeting of the Material Research Society (MRS)