Deposition of nanocrystalline silicon films from SiF4-H2-He plasmas.

Conference Poster
Publication Date:
1998
Iris type:
04.03 Poster in Atti di convegno
List of contributors:
Handle:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/122205
Book title:
Abstracts XIV Congresso Nazionale sulla Scienza e Tecnologia del Vuoto,