Chemistry of Amorphous Silicon Deposition Processes : Fundamentals and Controversial Aspects
Capitolo di libro
Data di Pubblicazione:
1995
Tipologia CRIS:
02.01 Contributo in volume (Capitolo o Saggio)
Elenco autori:
Cicala, Grazia
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Titolo del libro:
Plasma Deposition of Amorphous Silicon-Based Materials