Monolithic integration of GaAs on deeply patterned Si substrates by self-assembled arrays of 3-dimensional microcrystals
Abstract
Data di Pubblicazione:
2013
Tipologia CRIS:
04.02 Abstract in Atti di convegno
Keywords:
GaAs; Pillars; monolithic integration; SiLevi (FL)
Elenco autori:
Frigeri, Cesare
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