Rapid Thermal Annealing of Ion Implanted Sb in Si: a Comparison of Substitutional Fractions from Channeling, Electrical and Mössbauer Measurements

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1985
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/237936
Titolo del libro:
E-MRS Symposia Proceedings: Energy Beam Solid Interactions and Transient Thermal Processing