Low power, MEMS liquid flow sensor with silicone coating electrical insulation

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2014
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/226998
Titolo del libro:
Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2014)