Film di diamante policristallino sintetizzati mediante tecnica CVD: tecnologia di sintesi e progetto di sensori innovativi
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1997
Abstract:
Si riporta sulla sintesi, tramite tecnica CVD, e sulla caratterizzazione di film di diamante per applicazioni come sensori acustici innovativi
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Keywords:
diamante CVD; sensori
Elenco autori:
Santoro, Mario
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Titolo del libro:
XIII Congresso annuale Gruppo di Coordinamento "Misure Elettriche ed Elettroniche", CNR, Santa Cesarea Terme (Le), 26-28 settembre 1996, atti della conferenza