Dislocation density and structure in Si1-xGex buffer layers deposited by LEPECVD
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
2003
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Bollani, Monica
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Titolo del libro:
Microscopy of semiconducting materials 2003
Pubblicato in: