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  1. Pubblicazioni

Maskless nano-implant of 20 keV Ga+ in bulk Si(1 0 0) substrates

Articolo
Data di Pubblicazione:
2014
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
Annealing; Damage; Nano-beam; SPEG
Elenco autori:
Milazzo, Rachela; Mio, ANTONIO MASSIMILIANO; Rimini, Emanuele; D'Arrigo, GIUSEPPE ALESSIO MARIA; Spinella, ROSARIO CORRADO
Autori di Ateneo:
D'ARRIGO GIUSEPPE ALESSIO MARIA
MILAZZO RACHELA
MIO ANTONIO MASSIMILIANO
SPINELLA ROSARIO CORRADO
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/273823
Pubblicato in:
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Journal
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Dati Generali

URL

http://www.scopus.com/record/display.url?eid=2-s2.0-84914125231&origin=inward
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