Plasma deposited oxynitride films: structural and electrical characterization

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1993
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/3821
Pubblicato in:
MRS PROCEEDINGS
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