GC-MS investigation of hexamethyldisiloxane-oxygen fed plasmas

Articolo

Data di Pubblicazione:

2003

Tipologia CRIS:

01.01 Articolo in rivista

Elenco autori:

D'Agostino, Riccardo; Fracassi, Francesco; Palumbo, Fabio; Fanelli, Fiorenza

Autori di Ateneo:

FANELLI FIORENZA

PALUMBO FABIO

Link alla scheda completa:

https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/154750

Pubblicato in:

PLASMAS AND POLYMERS

Journal