Discharge modulation to improve the plasma deposition of hydrogenated and fluorinated silicon films

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1992
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/116734
Titolo del libro:
Commission of the European Communities 11th European Photovoltaic Solar Energy Conference Proceedings