Study of microscopic parameters in plasma systems for amorphous silicon deposition
Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1989
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Cicala, Grazia
Link alla scheda completa:
Titolo del libro:
9th International Symposium on Plasma Chemistry, (ISPC-9) Proceedings IUPAC