Glow discharge deposition of a-Si:H from SiH4-H2 mixtures: Langmuir probe and optical emission spectroscopy for plasma diagnostics

Contributo in Atti di convegno
Data di Pubblicazione:
1988
Tipologia CRIS:
04.01 Contributo in Atti di convegno
Elenco autori:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/116709
Titolo del libro:
Commission of the European Communities 8th European Photovoltaic Solar Energy Conference Proceedings