Process optimisation of a MEMS based PZT actuated microswitch

Articolo
Data di Pubblicazione:
2014
Abstract:
[object Object]
Tipologia CRIS:
01.01 Articolo in rivista
Keywords:
MEMS; Microcantilever; Microswitch; PZT
Elenco autori:
Autori di Ateneo:
Link alla scheda completa:
https://iris.cnr.it/handle/20.500.14243/261285
Pubblicato in:
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Journal